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          德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺

          更新時間:2025-09-12

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          廠商性質:代理商

          生產地址:

          簡要描述:
          德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺,掃描顯微鏡,超分辨率顯微鏡,生物技術,掩模/晶圓定位,樣本定位,干涉測量,計量
          品牌其他品牌價格區(qū)間面議
          產地類別進口產品種類電動
          應用領域醫(yī)療衛(wèi)生,電子/電池,綜合

          德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XCD



          應用領域:

          掃描顯微鏡

          超分辨率顯微鏡

          生物技術

          掩模/晶圓定位

          樣本定位

          干涉測量

          計量


          產品參數(shù):

          型號:P-541.ZCD

          主動軸:Z

          集成傳感器:電容式

          -20120 伏時Z向上的開環(huán)行程:150微米

          θX、θY向上-20120 伏時的開環(huán)偏擺角:–毫弧度

          Z向上的閉環(huán)行程:100微米

          θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角:–毫弧度

          Z向上的分辨率,開環(huán):0.2納米

          θX、θY向上的開環(huán)分辨率:–微弧度

          Z向上的閉環(huán)分辨率:0.5納米

          θX、θY向上的閉環(huán)分辨率:–微弧度

          Z、θX、θY向上的線性誤差:0.03%

          Z向上的重復精度:<2納米

          θX、θY向上的重復精度:–微弧度

          θX、θY向上的串擾(Z向運動):±15微弧度


          產品參數(shù):

          型號:P-541.TCD

          主動軸:Z,θX,θY

          集成傳感器:電容式

          -20120 伏時Z向上的開環(huán)行程:150微米

          θX、θY向上-20120 伏時的開環(huán)偏擺角:±0.6毫弧度

          Z向上的閉環(huán)行程:100微米

          θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角:±0.4毫弧度

          Z向上的分辨率,開環(huán):0.2納米

          θX、θY向上的開環(huán)分辨率:0.02微弧度

          Z向上的閉環(huán)分辨率:0.5納米

          θX、θY向上的閉環(huán)分辨率:0.08微弧度

          Z、θX、θY向上的線性誤差:0.03%

          Z向上的重復精度:<2納米

          θX、θY向上的重復精度:0.01微弧度

          θX、θY向上的串擾(Z向運動):±15微弧度


          德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XCD




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